三氟化氮/NF3
三氟化氮
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四氯化硅SiCl4
四氯化硅
三氟化硼气体 BF3
四氟化碳CF4
四氟化碳
氯气/CL2
高纯氯气
三氟甲烷/CHF3
三氟甲烷
硅烷 高纯硅烷 SiH4
高纯硅烷
高纯氨气 液氨
氨气(液氨)