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四氟化碳CF4
    发布时间: 2020-04-21 10:45    
四氟化碳CF4

中文名:四氟化碳

英文名:Carbon tetrafluoride

化学式:CF4

分子量:88

CAS登录号:75-73-0

包装规格:4L8L铝合金瓶;40Liter GB钢瓶包装;或按照其他规格气瓶充装。

主要用途:1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

2.是微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

3.用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术